1．激光加工系統的組成及其特性

激光加工機床如激光打孔機和激光切割機除具有一般機床所需有的支承構件、運動部件以及相應的運動控制裝置外，主要應備有激光加工系統，它是由激光器、聚焦系統和電氣系統三部分組成的。

1．激光器

激光器由激光光源、光泵、聚光器和諧振腔組成，應用于加工的激光器主要有：

(l) 固體激光器 具有穩定性好的特點，但能量效率低一般＜3％，由于輸出能量小，主要用于打孔和點焊及薄板的切割。（摻釹釔化鋁石榴石）等作為工作物質。YAG是固體激光中能發出最大功率的離子激光。YAG的結晶母材是由釔、鋁和石榴石構成的，其中微量的釹離子剛起激光作用。YAG的激光波長為1.06μm，相當于二氧化碳氣體激光坤長的1/10。它的綠色的激光束可在脈沖或連續波的情況下應用，具有波長短、聚光性好適于精密加工特別是在脈沖下進行孔加工最為有效，也可用于切削、焊接和光刻等。且由于聚光性好，可通過光導纖維傳格能量，適用于內腔加工等特定切合，其能量效率不及CO2氣體激光源最多不超過3％，目前產品的輸出功率大多在600W以下，最大已達4kW。另一種紅寶石激光源的波長更短為0.69μm，穩定性好，但能量效率0.1％～0.3％，主要用于打孔和點焊。

1）光泵是使工作物質發生粒子反轉產生受激輻射的激勵光源，因此光泵的發射光譜應與工作物質的吸收光譜相匹配。常用的光泵有脈沖氙燈和氪燈，脈沖氙燈的發光強度和頻率較高，適用于脈沖工作的團體激光器，而氪燈的發光光譜能與YAG的吸收光譜很好匹配，是YAG連續激光器的理想光泵。為改善照射的均勻性，光泵可用雙燈（如圖l所示的件3有上、下兩個）、三燈或四燈。

2）聚光器罩在光泵的外圍，它是把光泵發生的光有效地、均勻地集中到工作物質上。聚光器中常用的是圓柱聚光器和橢圓聚光器，也有球形、橢球和緊包形的聚光器。其要求為聚光均勻、散熱好、結構簡單、內壁反射率高，表面粗糙度Rα0.04μm以下，通常聚光效率達80％。

3）諧振腔是光學反饋元件，它的作用是位光放大介質產生光振蕩。其類型對激光輸出能量和發散角有很大影響，常用的平行平面諧振腔由圖l中反射鏡1與4組成，諧振腔的長度為激光半波長的整倍數，反射鏡平行度＜10"。

(2) 氣體激光器 常用的工作物質有分子激光的二氧化碳（CO2）和離子激光的氬氣（Ar），后者輸出功率為25W，它的10ns級短脈沖，使熱影響區小，用于半導體、陶瓷和有機物的高精度微細加工。而CO2激光器的功率在連續方式工作時可達45kW，脈沖式可達5kW，故在加工中應用最廣。

1) CO2氣體激光器的波長為10.6μm，處于紅外線領域，因而其激光束為不可見光。它是在氦的體積分數約80％，氮的體積分數約15％和CO2的體積分數約5％的混合氣體中進行放電形成粒子數反轉的分子激光。它的能量效率通常為5％～10%高效裝置甚至可達10％～15％。CO2激光器的工作原理圖如圖2所示。

2) 氣體激光的激勵雖也可用光泵的方法，但大多用直流放電（圖2）或高頻放電的方式。
3) 諸振腔由放電管兩端的鏡面構成，一端是鍍金凹鏡，另一端是鍺或砷化鎵平鏡，它們也兼作密封之用。

CO2激光器的輸出功率與放電管的長度成正比，低速軸流式的氣體流速慢，輸出功率小，約50～70W/m，但其輸出功率穩定，易得到單模，一般用于百瓦級激光器。對于千瓦級的CO2激光器則采用氣體循環速度達100m/s的高速軸流式的激光器或氣流及放電與激光光軸垂直的雙軸直交型以及氣流、放電與激光光軸三者互相垂直的三軸直交型可達到使激光器小型化。 #p#分頁標題#e#

2. 聚焦系統

其作用是把激光束通過光學系統精確地聚焦至工件上大放具有調節焦點位置和觀察顯示的功能。CO2激光器輸出的是紅外線，故要用鍺單晶、砷化鎵等紅外材料制造的光學透鏡才能通過。為減少表面反射需鍍增速膜。圖3為應用于CO2激光切割機的透射式聚焦系統。圖中在光束出口處裝有噴吹氧氣、壓縮空氣或惰性氣體N2的噴嘴，用以提高切割速度和切口的平整光潔。工作臺用抽真空方法使薄板工件能緊貼在臺面上。

3．電氣系統

電氣系統包括激光器電源和控制系統兩部分，其作用是供給激光器能量（固體激光器的光泵或CO2激光器的高壓直流電源）和輸出方式（如連續或脈沖、重復頻率等）進行控制。此外，工件或激光束的移動大多采用CNC控制。

為了實現聚焦點位置的自動調整，尤其當激光切割的工件表面不平整時，需采用焦點自動跟蹤的控制系統，它通常用電感式或電容式傳感器來實時檢測，通過反饋來控制聚焦點的位置，其控制精度的要求一般為±0.05～0.005mm。

2．激光加工的合理工作參數

1．激光打孔尺寸及其精度的控制

(1) 孔徑尺寸控制 采用小的發散角的微光器（0.001～0.003rad），縮短焦距或降低輸出能量可獲得小的孔徑。對于熔點高、導熱性好的材料可實現孔徑0.01～lmm的微小孔加工，最小孔徑可達0.00lmm。

(2) 孔的深度控制 提高激光器輸出能量，采用合理的脈沖寬度（材料的導熱性越好；宜取越短的脈沖寬度），應用基模模式（光強呈高斯分布的單模）可獲得大的孔深。對于孔徑小的深孔宜用激光多次照射，并用短焦距（15～30mm）的物鏡打孔。

（3）提高激光加工孔的圓度 激光器模式采用基模加工，聚焦透鏡用消球差物鏡，且透鏡光軸與激光束光軸重合，工件適當偏離聚焦點以及選擇適當的激光能量等可提高加工圓度。

（4）降低打孔的錐度 通常孔的錐度隨其孔深孔徑比增大而增加，采用適當的激光輸出能量或小能量多次照射，較短的焦距，小的透鏡折射率及減少入射光線與光軸間的夾角等措施可減小孔的錐度。

（5）硬脆材料激光打孔的實用參數 用YAG激光加工機對紅寶石和金剛石打孔，當孔徑為0.05mm時，所用的單個脈沖的激光能量分別為0.05～1J，每秒的脈沖數約為20個；加工Si3N4、SiC和Al2O3等陶瓷，當孔徑為0.25～l.5mm時,所用單個脈沖激光能量在5～8J，每秒的脈沖數為5～10個，脈沖寬度0.63ms，輔助氣體用空氣或N2。

2．激光切割的合理工作參數

除精細切割如切割硅片可用YAG固體激光器外，激光切割一般采用CO2以激光器，其工作參數主要有切割速度、切縫寬度和切割厚度。

（l）激光切割速度 它隨激光功率和噴氣壓力增大而增加，而隨被切材料厚度增加而降低。切割6mm厚度碳素鋼鋼板的速度達到2.5m／min，而厚度為12mm的鋼板僅為0.8m/min。切割15.6mm厚的膠合板為4.5m/min，切割35mm厚的丙烯酸酯板的速度則達27m/min。

（2）切縫寬度 一般在0.5mm左右，它與被切材料性質及厚度、激光功率大小、焦距及焦點位置、激光束直徑、噴吹氣體壓力及流量等因素有關，其影響程度大致與對打孔直徑的影響相似。切割精度可達±0.02～0.01mm。

（3）切割厚度 它主要取決于激光輸出功率。切割碳素鋼時，1kW級激光器的極限切割厚度為9mm，1.5kW級為12mm，2.5kW級為19mm；2.5kw級切割不銹鋼的最大切割厚度則為15mm。對于厚板切割則需配置3kw以上的高功率激光器。

（4）輔助氣體提高切割效率和切口質量 由于金屬表面的激光反射率可高達的95%，使激光能量不能有效地射入金屬表面。噴吹氧氣或壓績空氣能促進金屬表面氧化，可提高對激光的吸收率來提高切割效率。增加吹氧壓力還可使切縫減小，切割石英時，吹氧可防止再粘結。切割易燃材料時，可噴惰性氣體防止燃燒，切割帶有金屬夾層的易燃材料，宜采用伍紹空氣。當吹氣壓力未超過某一數值時，增加壓力可增大切割厚度。 #p#分頁標題#e#

對于熔點低、分解點低及導熱性差的塑料、纖維、木材、布料等，一般應采用長焦距的鍺透鏡來聚焦激光束。

3．激光加工的技術發展趨勢

1．優化激光工作參數。建立加工作業標準和相應的數據庫

通過控制激光照射的能量密度和照射時間可以實現多種類型的加工，例如激光打孔和切割等以去陳金屬為目的，利用的是金屬的蒸發現象，同時為了保證加工精度，又要求照射時間能使加工部位快速蒸發，又能防止加工部位以外的金屬不致因傳熱引起升溫或熔化；激光焊接時，要求在不致發生熱變形的短時間內，使焊接部位的溫度盡可能超過金屬熔化溫度而又不到金屬蒸發溫度；激光淬火時，又要求溫度控制在金屬相變點以上，熔點以下的范圍內，圖1示出不同加工方法所需的激光能量密度和照射時間。為了充分發揮激光加工的優點，需針對不同加工對象和加工類型進一步優化激光工作參數，以便能獲得高的效率和加工質量。

2．發展激光多工位分時綜合加工

根據激光加工的特點，利用同一激光源，通過靈活地控制能量密度和照射時間，在不同工位上分時實現多種方式加工，使一些工件的切割、打孔、刻劃、焊接和表面處理等可在一臺設備上集成地進行綜合加工。

3. 研究大功率、高壽命和小型化的微光裝置

提高激光功率需解決以下一系列問題如：

l）研制適用于大功率激光的光學器件材料。由于大功率激光束透過的窗口材料和透鏡等光學器件時，它們要承受高壓的擊穿力，并因吸收激光使溫度上升而引起破壞。因此應根據不同的激光波長研制適用的光學器件材料。

2）提高電源的穩定性和壽命，對于CO2氣體激光要解決大功率激光器的放電穩定性；對于YAG固體激光器要研制大容量、長壽命的光泵激勵光源，如采用半導體光泵可使能量效率大幅度地增長。

3）大功率激光裝置的小型化。同軸型CO2激光器結構簡單，增益大而均勻，放電穩定，為了加大輸出功率需增大長度，雖可對激光管采用折疊式和應用高速鼓風機來加速氣流進行改善，但功率增大仍受限制。

雙軸直交型增大了放電截面積，可以采用折疊式射束通道使外型縮小，但需超高速送風（50～15Om/s）的鼓風機，并要求反射鏡結構穩定和防止光損失等。

三軸直變型的最大特點是整個裝置小型緊湊，可將氣體密封運轉，用它發展大功率激光器有很強的實用性。圖2所示為美國研制的三軸直交型CO2氣體激光器，其也極位置比較合理。缺點是要求在高壓氣體中才獲得穩定放電,共振器的光學元件要耐受高壓。因此研制小型緊湊、可靠性高而又經濟的激光器是發展大功率激光加工的一個技術關鍵。